sakaguchi ExLASER®是一种多功能激光平面瞬时加热装置。
2018-07-18 15:15:02
应用实例
- 经验的例子
- 激光加热实验
- 标准规格
- 选项*我们将根据您的要求制造
- 目录
应用实例
MBE设备的基板加热
晶圆退火（SiC，GaAS等）
可以对多层器件进行表面退火（与小型化器件兼容）
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经验的例子
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激光加热实验
EXL-CT-010DS55用于激光加热置于真空室中的样品。从样品的背面（与激光照射侧相反的一侧）测量温度分布。
1.蓝宝石衬底（φ2英寸）---适用于透明基板
2.温度斜坡---使用组合光学系统
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标准规格
| 型号：EXL-CT-010-DS55 | |||
|---|---|---|---|
| 激光照射方法 | 直接型 | 体型 | H 625 mm×W 700 mm×D 320 mm |
| 激光输出 | 最大1千瓦 | 附件 | 专用冷水机组 |
| 激光波长 | 808纳米 | 额定 | 阀体：1P 200 V 20 A 冷却器：1 P 200 V 15 A. |
| 激光形状 | 一个正方形 | ||
| 光学系统（均匀性） | 均质机（±5％） | 备注 | JST原始建模 开发产品（2005财年） |
| 暖气区 | □55毫米 | ||
| 工作距离 | 400毫米 - | ||
※以上是标准规格。可以根据客户的要求进行更改。
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选项*我们将根据您的要求制造
真空室
温度控制器
·辐射温度计
·数字显示控制器
·红外传输窗口基板支架（适用于2英寸基板）
组合光学系统，专用板支架（□10 mm基板兼容）
各种基板（蓝宝石，硅，GaAs等）
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目录
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