日本原装 magnescale 索尼 磁栅尺 BH25-RED 温度膨胀系数
2024-12-16 11:34:41
fujino
BH25系列
磁栅尺
BH25-RED
BH25-NED
特点
信号波长250nm的高精度反射式激光尺。非常适合薄平台、半导体后处理设备和精密显微镜。
信号波长:250nm
高精度:±1μm/420mm
高速响应:1,800mm/s
最高分辨率:下午 3.8 点
阵容:有原产地、无原产地
完全非接触:原则上不存在返回错误。
刻度部分:零玻璃、无碱玻璃
厚度:12mm薄头
兼容各种分辨率和输出格式(BD96、BD700等,取决于插值器)
真空(特殊规格产品)
规格
型号名称 | BH25-红色 | BH25-NED |
有效长度(毫米) | 30/70/120/170/220/270/320/370/420/470/520/570/640 (零玻璃、无碱玻璃) | |
秤总长度 | 有效长度+26mm | |
最大可动长度 | 有效长度+10mm | |
准确度(20℃时) | ±0.5μm (30mm-170mm) ±1.0μm (220mm-420mm) | |
晶格间距 | 1.0μm | |
信号波长 | 0.25微米(250纳米) | |
原点位置 | 1 分 | 没有什么 |
原点检测方向 | 单向 | - |
温度膨胀系数 | 0.1×10 -6 /℃(零玻璃) 3.7×10 -6 /℃(无碱玻璃) | |
光源 | 半导体激光器波长790nm 输出6mW | |
检测方法 | 衍射光栅扫描型 | |
工作温度范围 | 10℃~30℃(无凝露) | |
储存温度范围 | -10℃至50℃(湿度必须低于60%) | |
最大响应速度 | 1,800毫米/秒 | |
输出信号 | 插补器连接等 | |
输出分辨率 | 取决于插补器的划分数 |