日本源头报价 magnescale 索尼 磁栅尺 BS78 高分辨率标尺
2024-12-16 11:51:56
fujino
磁栅尺
BS78
特点
在保持高速和高分辨率的同时实现稳定和超精确的测量。最适合精密工作台、半导体检查/制造设备、超精密加工机等。
信号波长为 138 nm 的高分辨率标尺，超过光波干涉仪
高稳定性，不受湿度、压力和空气湍流的影响
原点精度：±0.1μm
精度：±0.04μm以下（有效长度40mm）
完全非接触，原则上不会出现退货错误
有效长度：40～420mm、9种（-R/-RS）
有效长度：10～420mm，10种（-N/-NS）
真空、非磁性兼容（特殊规格）
使用低膨胀玻璃：-0.7×10 -6 /℃（有效长度：10～420mm）
分辨率：2.1pm
规格
| 型号名称 | BS78 | |
| 有效长度：L（毫米） | 10/40/70/120/170/220/270/320/370/420（10 仅适用于 N/NS） | |
| 秤总长 | 58mm（有效长度10mm：悬臂式）有效长度+26mm（有效长度40～420mm） | |
| 最大可动长度 | 有效长度+2mm（有效长度10mm：悬臂式） 有效长度+10mm（有效长度40～420mm） | |
| 准确度（20℃时） |
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| 晶格间距 | 约0.55μm | |
| 信号波长 | 约0.138μm（约138nm） | |
| 原点精度 | ±0.1μm（仅限R/RS型） | |
| 原点位置 | 距中心及中心左右各50mm（仅限320、370、420mm有效长度，以50mm间隔距中心偏移20mm） | |
| 原点检测方向 | 单向 | |
| 温度膨胀系数 | -0.7×10 -6 /℃ | |
| 光源 | 半导体激光器波长790nm 输出6mW | |
| 辐射功率 | DHHS 1 级 | |
| 检测方法 | 衍射光栅扫描型 | |
| 工作温度范围 | 10℃～30℃（无凝露） | |
| 储存温度范围 | -10°C 至 50°C（湿度 60% 或更低） | |
| 最大响应速度 | 400毫米/秒 | |